[发明专利]利用放热反应制备多晶硅的方法无效
| 申请号： | 98803292.9 | 申请日： | 1998-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN1250491A | 公开（公告）日： | 2000-04-12 |
| 发明（设计）人： | 金希永 | 申请（专利权）人： | 韩国化学研究所 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 丁业平 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述了通过对包括硅烷气体的反应气体的热分解或氢还原来制备多晶硅的方法,该方法包括除引入反应气体外还将氯化氢引入反应器中,并利用在反应器内氯化氢和硅之间的反应所产生的反应热作为额外的热源。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 放热反应 制备 多晶 方法 | ||
【主权项】：
1.一种通过对包括硅烷气体的反应气体的热分解或氢还原来制备多晶硅的方法，包括除引入反应气体外还向反应器中引入氯化氢，并利用在反应器内氯化氢的放热反应所产生的反应热。
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