[发明专利]吸光聚合物有效
申请号: | 98804588.5 | 申请日: | 1998-04-21 |
公开(公告)号: | CN1160599C | 公开(公告)日: | 2004-08-04 |
发明(设计)人: | 丁术季;D·N·科汉纳;卢炳宏;单鑑会;R·R·旦莫尔;D·L·杜尔哈姆;M·D·拉赫曼;I·莫克库罗赫 | 申请(专利权)人: | 克拉里安特国际有限公司 |
主分类号: | G03F7/09 | 分类号: | G03F7/09;C08F8/30;G03F7/11 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 陈季壮 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | 本发明涉及一种在光刻胶中用于吸收反射光、适用作抗反射涂料或用作添加剂的新颖的聚合物。所述新颖的聚合物包含:至少一种含有吸收约180纳米至约450纳米的染料的单元,和至少一种不含芳香官能度的单元。所述聚合物溶于有机溶剂,优选溶于低毒性溶剂,或者可溶于水,所述溶剂另外还可以包含其它与水可混溶的有机溶剂。 | ||
搜索关键词: | 聚合物 | ||
【主权项】:
1.一种聚合物,包含:(a)至少一种具有以下结构的染料单元:
式中,R1-R4独立地为氢、烷基、烷氧基、卤、氰基、芳基、芳烷基、羟基、氟代烷基、硝基、烷基醚、磺酸、磺酸酯、羧酸、羧酸酯、或羧酸或磺酸的碱金属盐,其中R1-R4中的碳原子数为1-5个;X为-N=N-;Y为芳基,芳烷基,杂环或烷基;m=1-3;和b)至少一个下式的非芳香共聚单体单元:
式中R6-R9独立地为氢、烷基、烷氧基、卤、氨基、羟基、氟代烷基、烷基醚、酰胺、烷基酰胺、羧酸、羧酸酯、磺酸、磺酸酯、羧酸和磺酸的碱金属盐、交联基团、或R8和R9结合形成酸酐基团。
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