[发明专利]托架储存和提供装置无效
申请号: | 98806142.2 | 申请日: | 1998-06-15 |
公开(公告)号: | CN1125483C | 公开(公告)日: | 2003-10-22 |
发明(设计)人: | 松村信弥;清村浩之;西野贤一;高桥健治;金山真司 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H01L21/52 | 分类号: | H01L21/52;H05K13/02;B65G59/10 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 沈昭坤 |
地址: | 日本大阪*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 托架接纳部件(4)进行开启和关闭,使它从两侧托住由托架运载部件(3)上提至托架储存区域(2)的托架(1)的底侧并从两侧退回以便释放或接纳托架(1);还设置托架保持架(5),它与托架接纳部件(4)动作上相关联地开启和关闭以用摩擦力从两侧支撑由托架接纳部件(4)接纳的托架;所述托架接纳部件(4)和托架保持架(5)的开启和关闭动作的顺序适当定时。 | ||
搜索关键词: | 托架 储存 提供 装置 | ||
【主权项】:
1.一种托架储存和提供装置,它包括:托架储存区域(2);托架运载部件(3),在所述托架储存区域(2)的下方垂直上下移动,以便在所述托架储存区域(2)中储存托架(1)使之相互堆叠并把托架(1)从所述托架储存区域(2)中的托架堆中逐一传送至预定位置;所述托架运载部件(3)还在所述托架储存区域(2)下方的其较低位置与提供托架的另一位置或提供所述托架(1)上收容的元件的位置间移动;设置在所述储存区域(2)且具有开启/关闭机构(6)的托架接纳部件(4),该开启/关闭机构随着所述托架运载部件(3)向下移动从托架(1)两侧关闭所述托架接纳部件(4)使与以堆叠方式储存在所述托架储存区域(2)中的所述托架(1)的低面接触;随着所述托架运载部件(3)向上移动,所述开启/关闭机构开启所述托架接纳部件(4),使从所述接触位置退回以释放保持在所述托架储存区域(2)中的托架(1);其特征在于,该托架储存和提供装置还包括:设置在所述储存区域(2)中且具有开启/关闭机构(7)的托架保持架(5),该开启/关闭机构通过从相对于所述托架(1)的两侧夹持所述托架保持架(5)来关闭和开启所述托架保持架(5),以分别支撑和释放所述托架接纳部件(4)所接纳的托架(1)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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