[发明专利]化学和机械磨平过程中所用过的水和浆状磨料的回收方法和设备无效
| 申请号： | 98807532.6 | 申请日： | 1998-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN1265046A | 公开（公告）日： | 2000-08-30 |
| 发明（设计）人： | 加里·L·科利特;小格伦·A·罗伯逊 | 申请（专利权）人： | 卢西德处理系统公司 |
| 主分类号： | B01D21/00 | 分类号： | B01D21/00;B01D21/02;B01D21/26;C02F9/00;C02F1/58;C02F1/38;C02F1/46 |
| 代理公司： | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人： | 张平元 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及从半导体材料磨平加工所使过的含水化学机械加工浆料中回收磨料成分和水。该浆状废液优选具有中性pH值，并冷却到0℃—15℃之间的温度。向浆状废液施加一电位,使浆状废液中的磨料颗粒易于团聚和分离。在一个实施方案中,浆状废液在常温和常压下加入一处理室,然后与该处理室分离的上清液在真空室中进行减压,使陷捕在上清液中的气体成泡到上清液液体表面,从浆状废液中进一步分离和收集水和磨料颗粒。在另一实施方案中,浆状废液通过一个或一个以上的自清洗的可逆粗颗粒过滤部件过滤。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 磨平 过程 所用 磨料 回收 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种从磨料颗粒的含水浆料中回收磨料颗粒的方法，该方法包括以下步骤：把磨料颗粒的含水浆料加入一处理室；在上述的处理室中冷却上述含水浆料达0℃-15℃之间的温度，使含上述颗粒团聚物的一部分上述含水浆料向上述处理室的收集区移动，和使上述含水浆料的剩余部分通过上清液出口作为上清液液体排出；和从上述收集区排放含上述颗粒团聚物的上述一部分含水浆料至收集罐。
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