[发明专利]具有线性传送系统的半导体处理装置

摘要

提出了一种在处理工具(10)中操纵半导体晶片的传送系统。该系统包括：配置在处理工具(10)内的传送单元导向装置(66)，当晶片传送单元在第一位置和第二位置之间移动时用于支撑晶片传送单元(61)。传送单元导向装置(66)包括框架(65)、安装在框架(65)上的横向导轨(63)和设置在传送单元导向装置(66)上最靠近横向导轨(63)的一串磁部件(71，74)。晶片传送单元(62)包括与横向导轨(63)可移动地连接的轨道(84)、操纵半导体晶片的晶片传送臂组件(86)。在轨道(84)上与磁部件(71，74)相配合的关系安装磁铁以沿导轨移动传送单元(62)。致动器用于控制传送单元(62)和传送臂组件(86)的位置，传感器用于判断传送单元(62)和传送臂组件(86)的位置。远离传送单元(62)配置控制器(101)，该控制器响应传感器(91)利用致动器引导传送单元(62)和传送臂组件(86)的移动。在致动器、传感器和控制器(101)之间建立通信链路。最好，该通信链路是光纤链路。

主权项

1.传送系统，用于在微电子制造中的处理装置的处理部分内操纵晶片，该传送系统包括：配置在处理装置内的传送单元导向装置，当各晶片传送单元独立地在各自的第一位置和第二位置之间移动时用于支撑第一和第二晶片传送单元，传送单元导向装置包括框架、安装在框架相对侧上的第一和第二横向导轨和设置在传送单元导向装置上贴近横向导轨的一串磁部件；第一和第二晶片传送单元，每个第一和第二晶片传送单元，包括与各自的横向导轨可移动地连接的轨道、与各自的轨道相连的操纵晶片的晶片传送臂组件、与各自的磁部件配合的关系安装在轨道上的响应控制信号沿各自的导轨移动传送单元的磁铁、响应于控制信号控制传送臂组件移动的致动器、用于监视传送单元沿各自的导轨的位置和传送臂组件位置状态的传感器；远离第一和第二传送单元配置的控制器，该控制器响应于从传感器接收的信号，并提供控制信号用以引导第一和第二传送单元和各自的传送臂组件的移动；和在第一和第二晶片传送单元和控制器之间的通信链路，以便于控制晶片传送单元的操作。