[发明专利]具有晶片重新取向机构的半导体处理装置

摘要

提出一种半导体处理装置。该处理装置包括输入部分(12)，该输入部分(12)具有通过其可插入支撑多个半导体晶片(W)的托架(16)的开口(32)。当托架通过输入部分的开口插入时使该半导体晶片以一般的垂直状态取向。取向改变装置(40)设置成可接收带有在一般垂直状态的半导体晶片的托架。取向改变装置可使托架重新取向，以便晶片以一般的水平状态重新取向。该处理装置还包括具有用于处理半导体晶片的多个处理台(20，22)的处理部分(14)和设置成可接收在一般的水平取向上的半导体晶片的传送装置(62)。该传送装置接收半导体晶片并将它们提供给处理部分中的一个或多个处理台。

主权项

1.用于半导体晶片处理装置中的提升/倾斜组件，所述提升/倾斜组件包括：包括固定框架和可移动框架的线性通道；可旋转地与所述可移动框架连接的套，所述套在晶片水平取向和晶片垂直取向之间旋转；与所述线性通道耦合的电机；和与所述套连接的杠杆，当所述套在所述晶片垂直取向上时，所述杠杆使所述套与真正的垂直偏移。