[发明专利]输送系统

摘要

本专利描述用于在楼房里加工装置(5)之间输送半导体产品(20)的一种输送系统(1)，其中输送系统(1)通过楼房天花板(7)与加工装置(5)隔离开，和在楼房天花板(7)的开孔(8)中有供料线(4)安装在输送系统(1)和加工装置(5)之间。输送系统的特征在于，相应的加工区(6)，在其中加工装置(5)集中在一起，输送系统(1)划分为区内输送系统(10)，它们通过供料线(4)与加工区(6)和相互通过区间输送系统(3)相连接，和区内输送系统(10)各至少有一个仓库区(11)用于半导体产品(20)的中间贮存，这样仓库相应划分给加工区。由于按本发明的输送系统在加工装置之间节省了用于产品贮存的停放场地，这样形成了附加的生产场地。本发明使加工装置之间的输送变得更简单，更快速和更容易变更。

主权项

1.一种输送系统(1)，用于输送在楼房中的加工装置(3)之间的半导体产品，其中所述输送系统(1)通过楼房天花板(7)与加工装置(5)隔开并且在楼房天花板(7)的开孔(8)中有供料线(4)，该供料线处于所述输送系统(1)和加工装置(5)之间，其特征在于，相应的加工区(6)，在其中加工装置(5)集中在一起，所述输送系统(1)按分区(2)被分为区内输送系统(10)，所述区内输送系统通过供料线(4)与相应的分区(2)中的加工区(6)相连接，所述区内运输系统(10)之间通过区间输送系统(3)相连接，所述区间输送系统是在走廊的平面上沿轨道运行的车辆；所述区内输送系统(10)有若干仓库区(11)用于半导体产品(20)的中间贮存，这样的仓库区相应地划分给加工区；其中，在加工中的产品(20)在相应的分区(2)的一个入口/出口区(12)、仓库区(11)和至少另一个入口/出口区(13)之间总是可输送的；其中，所述仓库区(11)是建成平面，水平的场地；其中，所述供料线(4)是一升降梯，并且所述升降梯(4)附带作为短时间中间仓库使用。