[发明专利]全氟化产物的纯化方法无效
申请号: | 98810964.6 | 申请日: | 1998-11-10 |
公开(公告)号: | CN1137043C | 公开(公告)日: | 2004-02-04 |
发明(设计)人: | B·A·马勒;R·N·米勒;C·-P·C·考 | 申请(专利权)人: | 纳幕尔杜邦公司 |
主分类号: | C01B21/083 | 分类号: | C01B21/083 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 卢新华;王其灏 |
地址: | 美国特拉华*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明公开了含有含有小于约10ppm(摩尔)以下杂质(例如四氟甲烷(PFC-14))的三氟化氮(NF3)。公开了使用夹带剂的共沸与萃取蒸馏方法,该方法用于将NF3和PFC-14彼此分离和从含其他电子工业材料的混合物中分离。 | ||
搜索关键词: | 氟化 产物 纯化 方法 | ||
【主权项】:
1、一种将四氟甲烷与三氟化氮分离的方法,该方法包括在有夹带剂存在下蒸馏含三氟化氮和四氟甲烷的混合物。
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