[发明专利]含缩聚物的光刻胶组合物无效
| 申请号： | 98811345.7 | 申请日： | 1998-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN1160598C | 公开（公告）日： | 2004-08-04 |
| 发明（设计）人： | S·F·瓦奈特;K·H·詹森;卢炳宏;D·S·麦肯基 | 申请（专利权）人： | 克拉里安特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023;C08G61/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈季壮 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 一种包括成膜树脂、光活性组合物以及溶剂的光刻胶组合物。成膜树脂是由酚衍生物和取代的二苯醚缩合得到的。此光刻胶还可以含碱溶性的成膜树脂，如酚醛清漆树脂。本发明的光刻胶改进了光刻胶图象的拍摄速度、分辨率和热稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 缩聚 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1.光刻胶组合物，它包括以下成分：a)聚合物，此聚合物是由结构(1)的取代的二苯醚![]()
与选自邻苯二酚、间苯二酚和连苯三酚的酚的酸催化的反应产物，其中R1-R8相互无关地为H、OH、卤素、(C1-C4)烷基、(C1-C4)烷氧基、芳基或芳烷基，m＝1-5，b)光活性化合物，以及c)光刻胶溶剂组合物，以及d)碱溶性成膜树脂。
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