[发明专利]具有张紧的膜的压力传感器

摘要

一种电容性压力传感器(110)，包括一个定位在两个分开的气密室之间的一个导电膜。膜在它的周边固定到并且密封偶合到一个凹面主体件的周边边缘(116)。膜(140)通过凹面主体件的周边边缘(116)张紧支撑。由凹面主体件(120、130)支撑的电极组件(150)建立一个大体上平面状的导电表面，该导电表面与导电膜相对，并且和导电膜分开一个标称间隙。凹面主体件包括一个可变形部分，该变形部分适于响应于加到凹面主体件上的力而径向膨胀它的周边边缘(116)。当加力时，凹面主体件变形超过它的弹性极限而永久性变形，借此使周边边缘(116)膨胀并且使膜张紧。

主权项

1、一种电容性压力传感器，包括：一个确定第一内部区的第一凹面主体件，一个确定第二内部区的第二凹面主体件，一个固定式地密封偶合到至少一个所说的凹面主体件的膜，和一个固定式地安装到所说的凹面主体件之一并且延伸到由所说的凹面主体件确定的所说的内部区中的电极；所说的凹面主体件围绕一个共用的中心轴线延伸，并且每个凹面主体件都包括一个设在第一平面的周边边缘，并且每个凹面主体件都有一个部分和另一个凹面主体件的周边边缘的一部分对应一致，所说的膜跨接所说的第一凹面主体件和所说的第二凹面主体件中的至少一个凹面主体件的周边边缘，所说的第一平面大体上垂直于所说的中心轴线，每个所说的凹面主体件都包括至少一个可变形的部分，其特征是有一个弹性极限，并且适于响应于加到所说的主体上的力相对于所说的中心轴线径向膨胀所说的凹面主体件的所说的周边边缘，每个所说的凹面主体件至少包括一部分可超过它的弹性极限拉伸的部分，从而将所述的膜布置于张紧力之下。