[发明专利]印刷电路基板的检查装置无效
| 申请号： | 98814134.5 | 申请日： | 1998-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN1129788C | 公开（公告）日： | 2003-12-03 |
| 发明（设计）人： | 西田聪;水野正纪;黑泽满树;竹野祥瑞;森安雅治 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01B11/30;H05K3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 孙敬国 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种印刷电路基板的检查装置，设有转动轴互相垂直的2个检流镜及扫描透镜作为扫描装置，能将激光振荡器输出激光的照射位置定位在互相垂直的X轴方向及Y轴方向指令的任意座标位置处，用检测器检测激光照射印刷电路基板所产生的光，依据检测器的输出信号判断各座标位置检查结果是否良好。 | ||
| 搜索关键词： | 印刷 路基 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种印刷电路基板的检查装置，其特征在于，具有：激光振荡器；由相互垂直的平面内扫描的2个扫描光学系统及扫描透镜构成的扫描装置，该扫描装置能将前述激光振荡器输出激光的照射位置定位在互相垂直的X轴方向及Y轴方向所指令的任意座标位置；对激光照射的印刷电路基板所产生的光进行检测的检测器；对前述激光振荡器输出激光进行聚光的聚光手段；以及设置在前述激光振荡器与前述聚光手段之间的图像复制光学系统及光罩元件。
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