[发明专利]带有自限制微型机械元件的双层介质反射空间光调制器无效

专利信息
申请号: 98814223.6 申请日: 1998-09-24
公开(公告)号: CN1309782A 公开(公告)日: 2001-08-22
发明(设计)人: A·G·休博斯 申请(专利权)人: 反射公司
主分类号: G02B26/00 分类号: G02B26/00;G02B26/08
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人: 赵蓉民,彭益群
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一个空间光调制器(12)包括一个上端的固定在一包括寻址电路的下端介质(34)的上方的光学透射介质(20)。一个或更多的静电可偏转元件(48)通过铰链(50)悬挂在上端介质(20)上。在操作时,单个镜(48)被有选择性地偏转且有助于空间地调制入射到上端介质(20)的光(56),然后,穿过上端介质(20)被反射回来。运动制动销(49)可以被固定到反射性的可偏转的元件上以便镜(48)不会突然地打到底部介质(34)上。而是运动制动销(49)顶靠着上端介质(20)从而限制反射性的可偏转的元件(48)的偏转角。
搜索关键词: 带有 限制 微型 机械 元件 双层 介质 反射 空间 调制器
【主权项】:
1.一种空间光调制器包括:具有一上表面和一下表面的光学透射介质;至少一个固定在光学透射介质下表面的的可偏转元件;以及一个位于光学透射介质的下表面之下且与其间隔分开的电路介质,电路介质包括能够激发一套至少一个可偏转元件的寻址电路。
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