[发明专利]具有增强的恢复力的弯曲的致动器

摘要

一种静电致动器装置,包括静止支撑件(11)和弯曲的可动支撑件(13),其被这样安装和定位,使得其可以和所述静止支撑件实现接触。至少使用3个电极(15,17,19),第一电极(15)被安装在可动支撑件(13)上,第二电极(17)被安装在静止支撑件上。第三电极(19)被安装在所述支撑件当中的一个上,使得所述电极被这样设置,使得形成两对电极,从而在电极之间产生静电吸引。这些电极由电压源(25,27,29)供电,从而在一对电极之间提供静电吸引,并使电极移动,从而实现静电接触。弯曲的电极(13)具有这样的形状,其构型使得当对另一对电极施加电压时,向与静止支撑件接触的可动支撑件的部分传递恢复力。最好所述电压提供两相驱动力,包括用于在操作周期的第一时间间隔内施加于所述第一对电极的第一电压,以及在所述同一个周期的一时间间隔内施加于所述第二对电极的第二电压。最好在对每对电极施加电压之后具有对每对电极都不施加电压的一中间时间间隔。

主权项

1.一种静电致动器装置，包括：静止支撑件和被安装在所述静止支撑件上的可动支撑件，所述可动支撑件被这样定位，使得其可以和所述静止支撑件的一部分实现接触，所述支撑件是不导电的；至少第一、第二和第三电极，所述第一电极被安装在所述弯曲的可动支撑件上，所述第二电极被安装在所述静止支撑件上，所述第三电极被选择地安装在所述支撑件的一个上，所述电极被这样定位，使得形成第一和第二对相对的电极，用于在每个相对的电极之间进行静电吸引；绝缘装置，用于阻止所述电极之间的导电接触；以及电压源装置，用于提供电压，从而选择地在所述相对的电极对之间提供静电吸引，并且移动电极对使其实现静电接触；所述弯曲的电极具有这样的形状，其被构成用于在向其它的电极对施加电压时向其和静止支撑件接触的一部分传递恢复力。