[发明专利]改进的磨削和抛光机床无效
| 申请号： | 99101755.2 | 申请日： | 1997-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN1081510C | 公开（公告）日： | 2002-03-27 |
| 发明（设计）人： | M·A·斯托克;D·R·福克纳;M·G·皮尔塞;P·M·H·莫兰茨 | 申请（专利权）人： | 尤诺瓦英国有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/00 | 分类号： | B24B9/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张天安,黄力行 |
| 地址： | 英国白*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 磨削圆盘或圆片周缘的磨削机床包括带槽的砂轮308，在磨削前后输送圆盘的装置，和箱体332。在箱体内，圆盘340放置在真空吸盘336以等待检测。喷嘴338伸入该箱体并将水或空气射向该吸盘上的圆盘表面和周缘。尔后，输送装置将圆盘送到检测站。$#! | ||
| 搜索关键词： | 改进 磨削 抛光 机床 | ||
【主权项】：
1.用磨削机床磨削圆盘或圆片周缘的方法，该磨削机床具有装在其上的带槽砂轮，其中，被磨的圆盘周缘轮廓在磨削后被检测，等待检测的圆盘放置在一箱体内的一真空吸盘上，其特征在于，所述箱体可以打开使圆盘得以输入箱体内和从箱体输出，所述箱体可以关闭使箱体内的一个切屑去除喷嘴将压力流体朝向该箱体内的该真空吸盘上的圆盘。
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