[发明专利]框架式结构自适应表面形貌仪无效
| 申请号： | 99102970.4 | 申请日： | 1999-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN1075629C | 公开（公告）日： | 2001-11-28 |
| 发明（设计）人： | 郭炎;陈大融 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B7/28 | 分类号： | G01B7/28;G01B21/20 |
| 代理公司： | 北京清亦华专利事务所 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于自适应测量技术领域，由一块组装平台和三根以上立柱组成框架，组装平台上装有一组由微分细化步进电机驱动作Ｘ－Ｙ－Ｚ三个方向的直线运动的模块组成的三轴工作台；负责垂直方向移动的Ｚ轴模块的运动部件上装有吊架，吊架上安装有微位移传感器，及控制该传感器在框架的三维空间里作任意曲线移动的计算机及存贮在其中的自适应测量程序。本发明能在各种情形的生产现场进行测量，其结构简单、操作方便、测量速度快、精度高。$＃! | ||
| 搜索关键词： | 框架 结构 自适应 表面 形貌 | ||
【主权项】：
1．一种框架式结构自适应表面形貌仪，其特征在于，由一块组装平台和三根以上立柱组成框架，该组装平台上面装有一组由微分细化步进电机驱动作X-Y-Z三个方向的直线运动的模块组成的三轴工作台；其中，所说的负责垂直方向移动的Z轴模块的运动部件上装有吊架，该吊架上安装有微位移传感器，以及控制该传感器在框架的三维空间里作任意曲线移动的计算机及存贮在其中的自适应测量程序。
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