[发明专利]连续的气体饱和系统及方法无效
| 申请号： | 99103021.4 | 申请日： | 1999-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN1242248A | 公开（公告）日： | 2000-01-26 |
| 发明（设计）人： | D·B·努密 | 申请（专利权）人： | 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司 |
| 主分类号： | B01B1/00 | 分类号： | B01B1/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王杰 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种用液体化学品的蒸汽饱和气体的系统及方法。所说的系统包括(a)用于接收液体化学品和载气的饱和容器;(b)在饱和容器中用来将载气喷射到液体化学品中的气体喷射器;(c)用于将液体化学品在饱和容器中保持为基本上恒定含量的装置;(d)用于将液体化学品在饱和容器中的温度控制到所需值的装置,包括(i)用于冷却液体化学品的系统和(ii)位于饱和容器内部用于加热液体化学品的加热器,该加热器在液体中垂直延伸液体化学品液面高度的至少一半的距离;和(e)用于将饱和气体的压力控制到所需值的装置。本发明还涉及控制传送汽化液体化学品的新方法与系统。本发明特别适用于半导体制造工业。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 气体 饱和 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用液体化学品的蒸汽饱和气体的系统，该系统包括：(a)连接接收液体化学品和载气的饱和容器；(b)在饱和容器中用来将载气喷射到液体化学品中的气体喷射器；(c)用于在饱和容器中将液体化学品保持为基本上恒定含量的装置；(d)用于将液体化学品在饱和容器中的温度控制到所需值的装置，包括(i)用于冷却液体化学品的系统和(ii)位于饱和容器内部用于加热液体化学品的加热器，该加热器在液体中垂直延伸液体化学品液位高度的至少一半的距离；(e)用于将饱和气体压力控制到所需值的装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司，未经液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/99103021.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：码分多址系统中前向功率控制的优化方法
- 下一篇：将气体喷入液流内的装置
