[发明专利]光刻胶组合物无效
| 申请号： | 99103239.X | 申请日： | 1999-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN1230704A | 公开（公告）日： | 1999-10-06 |
| 发明（设计）人： | 落合钢志郎;福井信人 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 林道濂 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种化学放大型的光刻胶组合物,由下式(Ⅰ)表示的结构单元的树脂构成式中,R1,R2和R3各自单独表示氢原子或1至4个碳原子的烷基;R4表示氢原子、1至4个碳原子的烷基或1至4个碳原子的烷氧基和R5表示氢原子、烷基或芳基,或R4与R5通过键合于它们的2个碳原子一起成环,此环可以是杂环;R6表示氢原子、1至4个碳原子的烷基、1至4个碳原子的烷氧基或羟基。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1．一种光刻胶组合物它包含一种具有以下式(Ⅰ)表示的结构单元的树脂：式中，R1、R2和R3各自单独表示氢原子或1至4个碳原子的烷基；R4表示氢原子、1至4个碳原子的烷基或1至4个碳原子的烷氧基和R5表示氢原子、烷基或芳基，或R4与R5连接在一起以形成环，此环可以为杂环，而R6表示氢原子、1至4个碳原子的烷基、1至4个碳原子的烷氧基或羟基。
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