[发明专利]花纹蒸发器的图案载体无效
| 申请号： | 99105337.0 | 申请日： | 1999-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN1234452A | 公开（公告）日： | 1999-11-10 |
| 发明（设计）人： | W·阿赫特纳;P·肖尔;K·奥贝尔勒;H·纽德尔特;E·温特;T·沃格特;G·克勒姆;G·霍夫曼 | 申请（专利权）人： | 鲍尔泽斯和利博尔德德国控股公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 赵辛 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提出一种特别适用于在一种特别是带形的衬底(1)上沉积一种气态介质的情况下用一种装置来产生图案的辊体,该辊体具有一种在辊体上构成的加深图案,用这种加深图案可显著增加对气态介质的存储量,并在滚压下作为液膜凝结在衬底(1)上,该加深图案具有一个底部(7),该底部相对于与衬底(1)产生接触的表面对气体介质具有较高的吸收能力。 | ||
| 搜索关键词： | 花纹 蒸发器 图案 载体 | ||
【主权项】：
1．特别适用于在局部沉积一种阻止以后衬底涂层的并润湿该衬底的介质的情况下，在一种具有吸收气态介质的预定加深图案的装置中把图案产生在一种特别是带状衬底(1)上的图案载体，其中该图案载体与衬底(1)同步运动并与该衬底产生接触，其特征在于，加深图案具有一个底部范围(7)，该底部范围相对于与衬底(1)产生接触的图案载体的表面对气态介质具有较高的吸收能力。
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