[发明专利]光刻胶组合物无效
| 申请号： | 99106272.8 | 申请日： | 1999-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN1235281A | 公开（公告）日： | 1999-11-17 |
| 发明（设计）人： | 市川幸司;福井信人;落合钢志郎 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 严舫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 有下述式(Ⅰ)、(Ⅱ)和(Ⅲ)表示的结构单元组成的光刻胶组合物其中,R1、R2、R3、R11、R12、R13、R21、R22和R23各自单独表示氢原子或烷基;R14、R15和R16中的一个表示脂肪碳氢残基和其余各自独立表示氢或脂肪碳氢残基,或R14、R15和R16中的两个或三个形成碳氢环;R表示一个可由酸的作用而裂解的基团;此光刻胶组合物即使在基片上带有有机抗反射膜的情况下仍提供极好的分辨率、极好的轮廓和宽聚焦界限。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1．一种光刻胶组合物，其特征在于含有一种树脂，该树脂在一个分子中有由以下述式(Ⅰ)、(Ⅱ)和(Ⅲ)表示的各结构单元：其中，R1、R2、R3、R11、R12、R13、R21、R22和R23各自单独表示氢原子或1至4个碳原子的烷基；R14、R15和R16中的一个表示脂肪碳氢残基和其余各自独立表示氢或脂肪碳氢残基，或R14、R15和R16中的两个或三个是彼此以一个碳原子结合在一起键合成碳氢环；R表示一个可由酸的作用而裂解的基团。
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