[发明专利]角速度传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 99106339.2 | 申请日： | 1999-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN1136454C | 公开（公告）日： | 2004-01-28 |
| 发明（设计）人： | 汤河润一;寺田二郎;中丸邦春;石原实;小野公三 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社;日本电波工业株式会社 |
| 主分类号： | G01P9/04 | 分类号： | G01P9/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杜日新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一个整体式双层结构的角速度传感器，由在厚度方向上直接焊接两个音叉件而成，目的是增强角速度传感器的探测敏感度。各音叉件用诸如石英等单晶体压电材料制作，沿晶体轴向焊接以形成压电现象，其中，焊接的音叉件的压电材料在横或厚方向上极性相反。 | ||
| 搜索关键词： | 角速度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种角速度传感器，其特征在于包括：第一音叉件，它包括至少两条用单晶体压电材料制作的支臂和至少一个连接所述两条支臂的基座；第二音叉件，它具有与第一音叉件相似的形状，也用单晶体压电材料制作，第一、二两个音叉件在厚度方向上直接接合，构成一个整体结构，其中，所述各音叉件压电材料的极性在横宽方向上相互相反。
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