[发明专利]压力转换器及其制造方法无效
| 申请号： | 99110158.8 | 申请日： | 1999-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN1145219C | 公开（公告）日： | 2004-04-07 |
| 发明（设计）人： | 池田雅春;江刺正喜 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/84 | 分类号： | H01L29/84 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 顾峻峰 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于将施加于隔膜的静压或动压转换成相应电信号的压力转换器及其制造方法。该转换器包括一形成在一基板上表面上的固定电极和一通过一空腔设置在固定电极上方的可动电极。在基板的底部形成有至少一个孔，借助干腐蚀法，利用该孔，可以在制造过程去除介于隔膜和基板上表面之间的牺牲层，从而形成所述空腔。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 转换器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压力转换器，包括：一基板，它具有一第一表面和一与该第一表面相对的第二表面；一固定电极，它形成在所述基板的第一表面上；一隔膜，其外周部分连接于所述基板的第一表面，从而在所述基板的中部和所述固定电极之间形成一空腔，所述隔膜具有一通过所述空腔与所述固定电极相对的可动电极，该可动电极可以响应外加压力而变形，以使所述可动电极与所述固定电极之间的距离作为外加压力的函数来变化；一形成在所述基板内的孔，它从所述第二表面延伸至所述空腔；以及至少一个形成在所述基板的第一表面内的凹槽，该凹槽处在空腔范围内，并通向所述孔。
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