[发明专利]锍盐及其制备方法有效
申请号: | 99110490.0 | 申请日: | 1999-07-16 |
公开(公告)号: | CN1243122A | 公开(公告)日: | 2000-02-02 |
发明(设计)人: | 朴柱铉;徐东辙;朴仙伊;金成柱 | 申请(专利权)人: | 金湖石油化学株式会社 |
主分类号: | C07C381/12 | 分类号: | C07C381/12 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 林蕴和 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明有关一种锍盐及其制备方法,其在聚合作用期间可有效地作为光酸引发剂或自由基光引发剂及一种光酸产生剂以去除有机化合物的保护基,特别是可做为用于半导体材料的化学放大光阻的光酸产生剂。因为本发明的锍盐系在全氟烷磺酸酐存在下经由在砜化合物与芳族化合物间以单一步骤制备,其具有优点在于克服现有技术中使用格利纳试剂经由二步骤制备的锍盐的缺点,本发明可提供具有高产率的锍盐,此在现有技术无法达到,且可制得具有较佳产率的即使为惯用的锍盐。 | ||
搜索关键词: | 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种以下式I表示的锍盐,式I其中Ra、Rb及Rc各自分别为烷基、芳基、烯丙基、或苯甲基;R1及R49各自为氢原子、烷基、乙烯基、烯丙基、芳基、苯甲基、羟基、硫羟基、卤素原子、醚基、醛基、烷氧基、烷硫基、苯氧基、苯硫基、或腈基;n为0至20的整数。
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