[发明专利]树脂表面硬化方法、表面硬化树脂及生产设备和树脂基片无效
| 申请号： | 99111657.7 | 申请日： | 1999-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN1248589A | 公开（公告）日： | 2000-03-29 |
| 发明（设计）人： | 外崎峰广;竹井裕;冲田裕之;堀野裕治;茶谷原昭义;木野村淳;坪内信辉 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社;工业技术院 |
| 主分类号： | C08J7/00 | 分类号： | C08J7/00;G11B9/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于树脂的表面硬化方法和表面硬化的树脂,能够在短时间内以低的能量改善塑料盘基片的表面;还公开了这种树脂的生产设备。以等于或者低于20KeV的能量把每平方厘米具有等于或者多于1017的碳离子注入塑料盘基片10所导致的离子注入层11的形成以及在离子注入层11上的高硬度的薄膜12的形成是交替地或者同时进行的,并且,利用偏压装置可进一步提高硬化率。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 表面 硬化 方法 生产 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于树脂的表面硬化方法，包括通过交替地进行离子注入和在与离子注入条件不同的条件下的物理薄膜沉积来硬化要处理的树脂表面的步骤。
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