[发明专利]有自定位的光纤共焦扫描显微镜无效
| 申请号： | 99113633.0 | 申请日： | 1999-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN1270323A | 公开（公告）日： | 2000-10-18 |
| 发明（设计）人： | 王桂英;杨莉松;徐至展 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00 |
| 代理公司： | 上海华东专利事务所 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种有自定位的光纤共焦扫描显微镜,包括照明光束输入部分A,光纤扫描部分B,与光纤扫描部分B交错置放的测量定位部分C,探测采样部分D和控制数据采集处理部分E。其中A、B、D和E构成光纤共焦扫描显微镜,而A、B和C构成准共焦小视场显微镜。也就是说,本发明的一台显微镜具有两种显微镜的功能,既有显微扫描层析成像的功能,又有一次成像的功能,即是对测定目标进行自定位的功能。适用于纳米深度,亚微米宽度的三维结构检测。 | ||
| 搜索关键词： | 定位 光纤 扫描 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种有自定位的光纤共焦扫描显微镜，包括照明光束输入部分A，光纤扫描部分B，探测采样部分D和控制数据采集处理部分E，其中照明光束输入部分A包括沿着激光器(1)出射光束前进的方向上依次置有耦合物镜(2)，光纤耦合器(4)，在光纤耦合器(4)的输出端O1上置有盛放折射率匹配液的容器(3)；光纤扫描部分B包括沿光纤耦合器(4)输出端O2输出光束前进方向上，依次置有光束准直镜(5)，采样物镜(6)和置于焦面f上的被测样品(7)；探测采样部分D包括在光纤耦合器(4)输出端O3出射光束的前进方向上置有带探测器电源(14)的探测器(15)；控制数据采集处理部分E包括置放被测样品(7)的带压电陶瓷驱动器(8)的由压电陶瓷构成的样品调节架(17)，压电陶瓷驱动器(8)通过带平衡器的电源(13)与计算机(12)相联，计算机(12)同时还与探测采样部分D中的探测器(15)相联，其特征在于与光纤扫描部分B交错置放的有测量定位部分C，测量定位部分C包括沿着置于样品调节架(17)上，在离焦面P上的被测样品(7)反射回来的光束前进方向上，依次有采样物镜(6)，分光板(9)，在分光板(9)反射光束前进的方向上，依次有放大目镜(10)和观察屏(11)；在探测采样部分D中，在光纤耦合器(4)的输出端O3与探测器(15)的接受面之间置有放大目镜(16)。
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