[发明专利]透明导电薄膜和减反射薄膜喷涂装置及其方法有效
| 申请号： | 99116819.4 | 申请日： | 1999-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN1086158C | 公开（公告）日： | 2002-06-12 |
| 发明（设计）人： | 崔容强;周之斌;孙铁囤;周帅先 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B05B7/16 | 分类号： | B05B7/16;H01L39/24;B05D5/12 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟,王桂忠 |
| 地址： | 200030*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明包括喷涂装置和喷涂方法两部分。喷涂装置雾化容器套在或半套在隔离容器内，隔离容器的底部设置一超声波振荡器，雾化容器内有配制好的溶液经超声波振荡器雾化后由载气携带定量通过与喷嘴联接定量输出，喷嘴设置在抽气柜内，喷嘴喷出的雾化溶液，均匀地晒在衬底上。喷涂方法将选定的化合物配制成溶液置入雾化容器，对衬底进行清洗，将加压氧气携带雾化溶液均匀喷洒在衬底上。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 导电 薄膜 反射 喷涂 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1、一种透明导电薄膜和减反射薄膜喷涂装置，包括：超声波振荡器3、喷嘴4，其特征在于还包括：雾化容器1、隔高容器2，传送带5、抽气柜6、加热装置7和衬底10，雾化容器1套在或半套在隔离容器2内，隔离容器2的底部设置一超声波振荡器3，雾化容器1内有配制好的溶液并设有二根导管，一根定量输入载气，另一根供溶液经超声波振荡器3雾化后由载气携带定量通过与喷嘴4联接定量输出，喷嘴4设置在抽气柜6内，抽气柜内还设加热装置7、传送带5和衬底10，衬底10设在加热装置7上方的传送带5上，喷嘴4的正下方正对衬底10，若干个衬底10随传送带5匀速平行，喷嘴4喷出的雾化溶液，均匀地晒在衬底10上。
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