[发明专利]光刻物镜分辨力与传函测试装置无效
| 申请号： | 99117304.X | 申请日： | 1999-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN1293358A | 公开（公告）日： | 2001-05-02 |
| 发明（设计）人： | 陈旭南;何上封;魏全忠;李展;陈元培 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 中国科学院成都专利事务所 | 代理人： | 张一红,王庆理 |
| 地址： | 61020*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种光刻物镜分辨力与传函测试装置,它克服了现有物镜测试仪器只能测试尺寸重量小、测试时可卧倒放置、精度较低的常规小型物镜的缺点。它由减振基板、大支架、照明系统、测试板、显微物镜和CCD接收器连接而成的图象接收器、显示器和存储示波器组成,被测光刻物镜竖直放置在支架水平台上,通过更换装置的垫块和照明系统,方便地测试各种共轭距、尺寸重量、工作波长的需要竖直测试的高分辨力光刻物镜。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 物镜 分辨力 测试 装置 | ||
【主权项】：
1、一种光刻物镜分辨力与传函测试装置，由放置在减振大基板(1)的大支架(2)的水平台面固定大垫块(15)，以支撑照明系统(14)，显微物镜(7)和CCD接收器(4)组成图象接收系统，与图象显示器(9)以及存储示波器(17)连接，其特征在于：大支架(2)水平台面上竖直放置的被测物镜(10)的物方端面放置标准垫块(11)，水平支撑测试板(12)，板上的分辨力与传函测试图形由被测物镜(10)投影成像于像面W＇W＇平面。连接架(5)将显微物镜(7)固定在三维调整架(3)上，显微物镜(7)调焦于被测物镜(10)像面W＇W＇平面。分辨力测试在显示器(9)上观测，传函测试数据由存储示波器(17)记录读数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所，未经中国科学院光电技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/99117304.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：新的人跨膜糖基转运因子及其编码序列
- 下一篇：用于电子装置的折页壳
