[发明专利]制造角速率传感器的方法有效
| 申请号： | 99121091.3 | 申请日： | 1999-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN1143121C | 公开（公告）日： | 2004-03-24 |
| 发明（设计）人： | T·克维斯特罗伊;H·雅各布森 | 申请（专利权）人： | 森桑诺尔有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01D5/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 周备麟;黄力行 |
| 地址： | 挪威*** | 国省代码： | 挪威;NO |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种制造角速率传感器的方法，包括以下步骤：在一个硅衬底上制备角速率传感器的各元件，该角速率传感器的这些元件包括一个或多个硅片、一个支承梁和隐埋的导体；设置检测装置；通过阳极结合，将元件密封在第一玻璃板和第二玻璃板之间的一个腔体中。这使得角速率传感器可以采用低成本的硅晶片制造。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 速率 传感器 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造角速率传感器的方法，包括以下步骤：在一个硅衬底上制备角速率传感器的各元件，这些元件包括一个或多个硅片、一个支承梁和隐埋的导体；通过在衬底的一个表面上施加光致抗蚀剂掩模、在光致抗蚀剂掩模的间隙处将离子注入衬底中、使离子向衬底中扩散来设置与隐埋的导体接触的p型触点；设置检测装置；和通过阳极结合，将元件密封在第一玻璃板和第二玻璃板之间的一个腔体中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于森桑诺尔有限公司，未经森桑诺尔有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/99121091.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
