[发明专利]用于化学增强抗蚀剂的树脂无效
| 申请号： | 99122019.6 | 申请日： | 1999-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN1263896A | 公开（公告）日： | 2000-08-23 |
| 发明（设计）人： | 郑允植;玄胜一;崔容准;金良淑;金炫辰;金德倍;崔世振 | 申请（专利权）人： | 东进化成工业株式会社 |
| 主分类号： | C08F112/08 | 分类号： | C08F112/08;G03F7/00 |
| 代理公司： | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人： | 黄益芬 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是涉及一种用于化学增强抗蚀剂的树脂以及含有这种树脂的抗蚀剂组合物。本发明的一个目的是提供可应用于化学增强抗蚀剂的新型树脂,这种抗蚀剂在光刻工艺中通过对远紫外光的感光可在胶片上形成超精细图案,并能提高后曝光延迟(PED)的安全性,还提供了相应的可涂布的抗蚀剂组合物。这种化学增强抗蚀剂包括所选的可碱性显影的聚合树脂,在光刻工艺中通过远紫外线作用,可在胶片上形成具有极高分辨率的精密图案。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 增强 抗蚀剂 树脂 | ||
【主权项】：
1.一种由化学式1所表示的聚合物：[化学式1]其中R1为氯、溴、羟基、氰基、叔丁氧基、CH2NH2、CONH2、CH＝NH、CH(OH)NH2、或C(OH)＝NH，R2为氢或甲基，和x的数值为0.1-0.9。
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