[发明专利]微小型热电堆元件及其形成热隔离的方法有效
| 申请号： | 99122221.0 | 申请日： | 1999-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN1295351A | 公开（公告）日： | 2001-05-16 |
| 发明（设计）人： | 沈志雄;陈忠男;林三宝 | 申请（专利权）人： | 光磊科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L35/00 | 分类号： | H01L35/00 |
| 代理公司： | 北京三友专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微小型热电堆元件及其形成热隔离的方法,其形成热隔离的方法包括在衬底表面的薄膜层开设狭长蚀刻窗,同时形成微连结构造跨越蚀刻窗而连接蚀刻窗两侧薄膜层的边缘,然后经由蚀刻窗对硅衬底进行蚀刻,使衬底与薄膜层之间形成坑穴,导致薄膜层成为浮板,且浮板与衬底之间形成热隔离。以上述方法制作的热电堆元件,其浮板具有较大的面积,且浮板较不易破裂,可靠度较佳。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 热电 元件 及其 形成 隔离 方法 | ||
【主权项】：
1、一种微小型热电堆元件，其特征在于：包括：一衬底；一浮板形成于该衬底的表面；一蚀刻窗分割该浮板；多个微连结构造跨越该蚀刻窗而连接该蚀刻窗两侧的该浮板的边缘；以及一坑穴介于该衬底与该浮板之间。
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