[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 99122459.0 | 申请日： | 1999-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN1126948C | 公开（公告）日： | 2003-11-05 |
| 发明（设计）人： | 石仓善之 | 申请（专利权）人： | 株式会社山武 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12;G01L1/14;H01L41/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种压力传感器，包括蓝宝石基体、蓝宝石膜片、电容腔、静态电极和可动电极。其基体以R晶面为主表面。蓝宝石膜片形成在基体的主表面上并且以R晶面为主表面。电容腔的上表面由膜片盖住并具有形成在基体主表面上的凹部。静态电极固定在电容腔的底面上。可动电极与静态电极相对地固定在电容腔中的膜片的下表面上。可动电极和静态电极中至少一个电极具有在沿晶体C轴投影方向穿过膜片主表面中心的直线和沿与C轴投影方向垂直方向上的直线中至少一条直线上延伸的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，其特征在于包括：以R晶面作为主表面的蓝宝石基体(101，201)；形成在所述基体的所述主表面上且以R晶面作为主表面的蓝宝石膜片；电容腔，其上表面由所述膜片盖住并且具有一个形成在所述基体主表面上的凹部；固定到所述电容腔底面上的静态电极(103，203)；和与所述静态电极相对地固定在所述电容腔内的所述膜片下表面上的可动电极，其中所述可动电极和静态电极中至少一个电极具有在沿晶体的C轴投影方向穿过所述膜片主表面中心的直线和沿垂直于C轴投影方向的直线中的至少一条直线上延伸的形状。
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