[发明专利]稀土化合物浆料及金刚石厚膜的表面刻蚀方法无效
| 申请号： | 99124562.8 | 申请日： | 1999-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN1087040C | 公开（公告）日： | 2002-07-03 |
| 发明（设计）人： | 王佳宇;陈宏宇;白亦真;金曾孙 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C30B33/08 | 分类号： | C30B33/08 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 王恩远 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属金刚石厚膜的表面刻蚀方法。采用稀土化合物浆料，如以氧化铈和硝酸镧为原料的浆料，印刷于金刚石厚膜生长面，再经400～600℃烧结2～5小时，最后用浓硫酸清洗。浆料是将原料与溶剂混合研磨再加调和剂配制而成。本发明原料便宜用量少，可刻蚀工艺简单，不需要真空高温的苛刻条件和复杂设备，成本降低；刻蚀效果好，能减小机械抛光时间；浆料丝网印刷可图形化。这些都利于金刚石厚膜在电子封装领域中的应用。#! | ||
| 搜索关键词： | 稀土 化合物 浆料 金刚石 表面 刻蚀 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于金刚石厚膜表面刻蚀的稀土化合物浆料，其特征是，其成分包括铈和镧的氧化物或盐为原料，松油醇、柠檬酸、乙基纤维素或它们的混合物为调和剂混合而成；铈化合物、镧化合物、柠檬酸、乙基纤维素的质量比为1∶(1～0.3)∶(0.2～0.18)∶(0.1～0.05)，松油醇用量以将浆料调和成粥状为准。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉林大学，未经吉林大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/99124562.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
