[发明专利]淀积膜形成系统和方法

摘要

淀积膜形成系统具有至少一个真空容器；向真空容器输送膜形成用原料气体的装置；使原料气体成为等离子体的放电电极；以及供电导体，将高频功率施加至放电电极，该系统包括接地屏蔽，在真空容器内围绕供电导体设置；和多个电介质材料部件，它们的至少部分设置在供电导体和接地屏蔽之间。还公开了采用这种淀积膜形成系统的方法。可以长时间地维持大面积均匀放电，并且可以在连续移动的带状基片上形成非常均匀的高质量淀积膜。

主权项

1.一种淀积膜形成系统，它具有：至少一个真空容器；用于向真空容器输送膜形成用原料气体的装置；一个设在真空容器内的放电电极，它用于使原料气体成为等离子体；以及一个供电导体，它用于将高频功率施加至放电电极，该系统包括：一个接地屏蔽，它在真空容器内围绕供电导体设置；和一个或多个电介质材料部件，其中的至少一个设置在供电导体和接地屏蔽之间。