[发明专利]有机抗反射涂料及其制备无效
| 申请号： | 99126381.2 | 申请日： | 1999-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN1271720A | 公开（公告）日： | 2000-11-01 |
| 发明（设计）人： | 郑旼镐;洪圣恩;白基镐 | 申请（专利权）人： | 现代电子产业株式会社 |
| 主分类号： | C07C69/657 | 分类号： | C07C69/657;C08F20/14;C09D5/33;H01L23/29 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 甘玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供具有下列通式Ⅰ、Ⅱ或Ⅲ的一种聚合物。该聚合物含有在亚微平版印刷方法所用的波长处具有强吸收的发色团,可用作采用248nmKrF、193nm、ArF或157nmF2激光的亚微平版印刷方法中的抗反射涂料(ARC)。ARC解决了光从下层衍射和反射引起CD变化的问题,也消除了由于在晶片上的下层的光学性质及其上的光敏薄膜厚度的改变而引起的驻波和反射倒陷,因而可稳定地生成适用于半导体器件的超细图案。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 反射 涂料 及其 制备 | ||
【主权项】：
1、一种丙烯酸9-蒽烷基酯化合物，如下述化学式39所示：其中，RI为氢或-CH3；R1-R9可相同或不同，分别代表氢、羟基、甲氧基羰基、羧基、羟甲基，或取代或未取代的、直链或支链的C1-C6烷基、烷烃、烷氧基烷基或烷氧基烷烃；且m为1-4的整数。
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