[实用新型]静电悬浮的操作电极无效
| 申请号： | 99204491.X | 申请日： | 1999-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN2377681Y | 公开（公告）日： | 2000-05-10 |
| 发明（设计）人： | 吴兰;章海军;黄峰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01L43/00 | 分类号： | H01L43/00 |
| 代理公司： | 浙江大学专利代理事务所 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种静电悬浮的操作电极。它具有电极组和激光测距探头组,电极组包括一个位于中央的圆形电极,以及三个位于外周的等分环形电极,整个电极组制作在一块平面的印刷电路板上,激光测距探头分别固定在三个电极区中央,并在电极区的相应位置上开了三个小孔。本实用新型原理新颖,结构简洁,技术条件易于实现,克服了磁悬浮技术的局限性,大大拓宽了应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 悬浮 操作 电极 | ||
【主权项】：
1.一种静电悬浮的操作电极，其特征在于它具有电极组[1]和激光测距探头组[2]，电极组包括一个位于中央的圆形电极D，以及三个位于外周的等分环形电极A、B、C，整个电极组制作在一块平面的印刷电路板上，相邻电极区之间由绝缘沟互相隔开，激光测距探头组包括三个与电极平面垂直的激光测距探头，它们分别固定于电极区A、B、C中央位置，在探头所在的电极区的相应位置开有三个小孔。
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