[实用新型]光栅位移传感器

摘要

本实用新型公开了一种光栅位移传感器,包括一光栅副和一对光电转换元件。光栅副为游标原理光栅副,由一标尺光栅和一反射式相位光栅构成,其中标尺光栅的栅线为n根/mm,反射式相位光栅的栅线为n－1根/mm;标尺光栅与反射式相位光栅之间的层迭间隙为0.03mm～0.05mm;光电转换元件为一光源和一田字形光电接收元件。由于本实用新型光栅副之间的层迭间隙比较大,使调节简单;采用一“田”字形光电接收主体,四相位输出,讯号质量好,讯号强。

主权项

1、一种光栅位移传感器，其特征在于：包括一光栅付和一对光电转换元件，所述的光栅付为游标原理光栅付，由一标尺光栅和一反射式相位光栅构成，其中：标尺光栅的栅线为n根/mm，反射式相位光栅的栅线为n-1根/mm；该光栅付分别设在标尺光栅座和反射式相位光栅座上，标尺光栅与反射式相位光栅之间的层迭间隙为0.03mm～0.05mm，标尺光栅座与测杆相连接，反射式相位光栅座上设有相交连通的一入射光线孔和一反射光线孔，该两孔的相交处设有一镶嵌反射式相位光栅的光栅孔口，所述入射光线孔口上设有光源，该光源为红外发光管，反射光线孔口上设有光电接收元件，所述的光电接收元件为四相讯号输出的田字形光电接收元件。