[实用新型]光刻物镜分辨力测试装置无效
| 申请号： | 99241305.2 | 申请日： | 1999-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN2397485Y | 公开（公告）日： | 2000-09-20 |
| 发明（设计）人： | 陈旭南;何上封;魏全忠;李展;陈元培 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 中国科学院成都专利事务所 | 代理人： | 张一红,王庆理 |
| 地址： | 61020*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻物镜分辨力测试装置,它克服了现有物镜测试仪器只能测试尺寸重量小、测试时可卧倒放置、精度较低的常规小型物镜的缺点。它由减振基板、大支架、照明系统、分辨力测试板、显微物镜和CCD接收器连接而成的图象接收器、显示器组成,被测光刻物镜竖直放置在支架水平台上,通过更换装置的垫块和照明系统,方便地测试各种共轭距、尺寸重量、工作波长的需要竖直测试的高分辨力光刻物镜。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 物镜 分辨力 测试 装置 | ||
【主权项】：
1、一种光刻物镜分辨力测试装置，由放置在减振大基板(1)的大支架(2)的水平台面固定大垫块(15)，以支撑照明系统(14)，显微物镜(7)和CCD接收器(4)组成图象接收系统，与图象显示器(9)连接，其特征在于：大支架(2)水平台面上竖直放置的被测物镜(10)的物方端面放置标准垫块(11)，水平支撑分辨力测试板(12)，板上的分辨力测试图形由被测物镜(10)投影成像于像面W′W′平面。连接架(5)将显微物镜(7)固定在三维调整架(3)上，显微物镜(7)调焦于被测物镜(10)像面W′W′平面。
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