[实用新型]非晶硅薄膜太阳能电池制作装置

摘要

本实用新型涉及一种非晶硅薄膜太阳能电池制作设备。由七个真空室、真空获得装置、气路和尾气处理组成,七个真空室为长方体形,线列式排列,气动闸板阀隔离,设有轨道小车及导轨,三个反应室及过渡室设电容耦合电极板;气路分9路进气,三个反应室各设3组与质量流量控制器MFC连接;尾气处理通过三套增压泵、机械泵机组把有毒气体分流;真空获得是在反应室I及两侧过渡室接涡轮分子泵和离子泵,反应室P与进片室及反应室N与出片室间均接涡轮分子泵。它具有真空隔离、连续淀积效果。

主权项

1.一种非晶硅薄膜太阳能电池制作装置，其特征在于：由七个真空室(1)、真空获得装置(2)、气路装置(3)和尾气处理装置(4)组成，所述七个真空室(1)为进片室(11)、过渡室(12)、反应室P、I、N(13、14、15)和出片室(16)，均为长方体形，线列式排列安装，从右至左依次为：进片室(11)、反应室P(13)、过渡室(12)、反应室I(14)、过渡室(12)、反应室N(15)和出片室(16)，每两个真空室(1)之间采用长方形法兰连接，金属丝密封，并装有气氛隔离用超高真空气动闸板阀(17)，每一真空室(1)中安装有交递与传送衬底用由电机驱动的轨道小车(18)及一对导轨(19)，各个真空室(1)间的导轨(19)不连续，所述P反应室(13)、I反应室(14)、N反应室(15)及过渡室(12)内还装有上、下电极板(10、10′)；所述真空获得装置(2)由涡轮分子泵(21)、离子泵(22)和机械泵(23)组成，在所述反应室I(14)和其两侧的过渡室(12)通过插板阀(24)接一涡轮分子泵(21)和一离子泵(22)，所述反应室P(13)与进片室(11)及反应室N(15)与出片室(16)之间分别通过插板阀(24)分别接入一涡轮分子泵(21)，所述涡轮分子泵(21)均加装一机械泵(23)；所述气路装置(3)共分9路，反应室P(13)、反应室I(14)、反应室N(15)各设结构相同的3组气路进气，其中一组气路来自气瓶的气源，通过减压器、截止阀、电磁阀与控制进气量大小的质量流量控制器MFC(31)连接，经由液氮冷却的不锈钢管进入反应室；所述尾气处理装置(4)是在进入反应室气管上和气路中经过电磁阀接入抽气用增压泵(41)，且在增压泵(41)前加装一个液氮冷阱(42)；上述两套液氮冷阱(42)前通过三通接管再与机械泵(23)连接，所述机械泵(23)的排气口充入N2气，其抽出的废气至尾气处理器。