[实用新型]高精密五维微调样品架无效
| 申请号： | 99250782.0 | 申请日： | 1999-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN2403016Y | 公开（公告）日： | 2000-10-25 |
| 发明（设计）人： | 李求恕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10 |
| 代理公司： | 中国科学院沈阳专利事务所 | 代理人： | 朱光林,周秀梅 |
| 地址： | 110003 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种高精密五维微调样品夹持装置。由真空机械转轴、三维运动组件、陶瓷封接器件、低温冷却器、样品杆组件和样品夹持件组成,其真空机械转轴穿过三维运动组件、低温冷却器安装至样品杆组件处,陶瓷封接器件安装在三维运动组件支座上,低温冷却器设置在三维运动组件下方,于样品杆组件上,与样品夹持件相连,样品杆组件通过支架安装在真空机械转轴底端,样品夹持件固定在样品杆组件的支架上,并与陶瓷封接器件电连接。它具有五维微调、成本低、应用广泛的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 微调 样品 | ||
【主权项】：
1.一种高精密五维微调样品架，其特征在于：由真空机械转轴(1)、三维运动组件(2)、陶瓷封接器件(3)、低温冷却器(4)、样品杆组件(5)和样品夹持件(6)组成，其中真空机械转轴(1)穿过三维运动组件(2)、低温冷却器(4)安装至样品杆组件(5)处，陶瓷封接器件(3)安装在三维运动组件(2)的支座上，低温冷却器(4)设置在三维运动组件(2)下方，于样品杆组件(5)上，与样品夹持件(6)用铜辨子相连，样品杆组件(5)通过支架安装在真空机械转轴(1)底端，样品夹持件(6)固定在样品杆组件(5)的支架上，并与陶瓷封接器件(3)电连接；所述三维运动组件(2)支座以下部分置于真空室中。
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