[实用新型]一种新型超高真空环境下使用的光学狭缝装置

摘要

本发明属于光学精密机械技术领域,涉及一种对高真空环境下使用的光学狭缝装置的改进。它包括测微螺杆、波纹管、真空壳体、直线导轨副、楔形滑块、平行四边形机构、狭缝缝片、滚动推杆,采用平行四边形机构装夹狭缝缝片保证狭缝缝片在横向导轨的情况下精密连续横向平移。采用直线导轨副保证楔形滑块精密运动并可与超高真空环境兼容。采用直线导轨副和平行四边形机构配合使用使得狭缝缝片开口精度、开口对称性达到微米量级。

主权项

1、一种新型高真空环境下使用的光学狭缝装置，它包括测微螺杆1、焊接波纹管2、真空壳体3、楔形滑块5、狭缝缝片7、滚动推杆8，其特征在于：测微螺杆1与焊接波纹管2固定连接，焊接波纹管2与真空壳体3固定连接在一起，密珠直线导轨4的运动件一端与焊接波纹管2相连，密珠直线导轨4的另一端与楔形滑块5相连，楔形滑块5的斜边同滚动推杆8接触连接，狭缝缝片7和滚动推杆8安装在弹性平行四边形机构6的一个活动边上，弹性平行四边形机构6的另一边安装在真空壳体3的基座上。