[发明专利]分布反射型多层膜镜的制造方法无效
| 申请号： | 99800571.1 | 申请日： | 1999-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN1115572C | 公开（公告）日： | 2003-07-23 |
| 发明（设计）人： | 下田达也;金子丈夫;宫下悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/26 | 分类号： | G02B5/26;G02B5/28;G02B5/08;H01S5/30;H01L33/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邰红,杨丽琴 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在折射率不同的复数的薄膜102，103进行叠层构成的分布反射型多层膜镜的制造方法中，通过液相成膜法形成前述薄膜(102，103)。液相成膜法包括将形成薄膜的薄膜材料涂敷的工序，和将涂敷的前述薄膜材料固化的工序，作为液相成膜法采用喷墨方式。可以简便且在短时间内以微细的排列图案形成薄膜，可以得到高精密且可靠性高的叠层膜，容易控制分布反射型多层膜镜的膜厚和反射率等反射特性。 | ||
| 搜索关键词： | 分布 反射 多层 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种分布反射型多层膜镜的制造方法，该方法是折射率不同的复数薄膜叠层构成的分布反射型多层膜镜的制造方法，其特征在于通过液相成膜法形成前述薄膜，所述液相成膜法采用喷墨方法；所述的分布反射型多层膜镜的制造方法中，前述液相成膜法包括将涂敷形成前述薄膜的薄膜材料的工序，和将涂敷的前述薄膜材料固化的工序。
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