[发明专利]底部抗反射涂层组合物和用于该组合物的新型聚合物染料

摘要

本发明提供了一种用于照相平版印刷的底部抗反射涂层材料,该材料使用了以下通式的聚合物染料。这种聚合物染料能够形成具有优良成膜性、在曝光波长处优良吸收性、优良同步覆盖度、与光致抗蚀剂不相混及高蚀刻的速度的底部抗反射涂层。其中R表示氢原子、或取代或未取代的烷基、环烷基或芳基;R1表示取代或未取代的烷基或芳基或－COOR3基团,其中,R3表示烷基;R2表示取代或未取代的烷基、环烷基或芳基;D为有机发色团,其在曝光波长(150nm～450nm)下吸收,表示取代或未取代的芳基、稠合芳基或杂芳基;m和o为大于0的整数;n、p和q为包括0在内的整数。

主权项

1.一种用于照相平版印刷的底部抗反射涂层组合物，其包含至少一种溶剂和一种由通式1表示的聚合物染料：其中R表示氢原子、取代或未取代的C1-C20烷基、取代或未取代的C6-C20环烷基或取代或未取代的C6-C20芳基；R1表示氢原子、取代或未取代的C1-C5烷基、取代或未取代的C6-C10芳基或-COOR3基团，其中，R3表示C1-C10烷基；R2表示取代或未取代的C1-C5烷基、取代或未取代的C6-C20环烷基或取代或未取代的C6-C20芳基；D为有机发色团，其在曝光波长(150nm～450nm)下吸收，表示取代或未取代的C6-C30芳基、取代或未取代的C6-C30稠合的芳基或取代或未取代的C4-C30杂芳基；m和o为大于0的整数；和n、p和q为包括0在内的整数。