[发明专利]一种利用控制气体浓度的处理液湿法处理电子元件的方法无效
| 申请号： | 99803308.1 | 申请日： | 1999-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN1291921A | 公开（公告）日： | 2001-04-18 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·T·贝;凯文·R·杜尔;克里斯托夫·F·麦克康奈尔;史蒂文·维哈韦贝克 | 申请（专利权）人： | CFMT公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谷惠敏,李辉 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及利用具有控制浓度(即量)气体的处理液湿法处理电子元件的方法。本发明提供用于湿法处理过程的至少两种处理液含不同浓度气体的湿法处理方法。任选地在湿法处理过程的一个或几个湿法处理步骤中使用声能,以加强效果。本发明的方法例如可以提高清洗效果,或降低湿法处理过程的颗粒污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 控制 气体 浓度 处理 湿法 电子元件 方法 | ||
【主权项】：
权利要求书1．一种湿法处理电子元件的方法，包括：a)将具有多个表面的电子元件放置于反应室内；b)控制至少两种处理液中气体的浓度，其中至少两种处理液具有不同的气体浓度；及c)使电子元件与每种处理液接触一定的接触时间。
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