[发明专利]改进的图形发生器无效
| 申请号： | 99803477.0 | 申请日： | 1999-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN1292103A | 公开（公告）日： | 2001-04-18 |
| 发明（设计）人： | 托布约姆·桑德斯特罗姆 | 申请（专利权）人： | 微激光系统公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/207;G02B26/06;//G03F1/00H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及到一种用来在对辐射敏感的工件上产生诸如光掩模、显示屏或微光学器件之类的图形的装置。此装置包含辐射源和具有多个调制元件(象素)的空间调制器(SLM)。它还包含将驱动信号馈送到调制器的电子数据处理和发送系统、用来移动所述工件的精密机械系统、以及对工件的运动、到调制器的信号馈送和辐射的强度进行协调以便将分图形顺序产生的分图象缝合成所述图形的电子控制系统。根据本发明,驱动信号能够将调制元件设定到多于2的多个状态。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 图形 发生器 | ||
【主权项】：
1．一种用来在对光辐射敏感的工件上产生诸如光掩模、显示屏或微光学器件之类的图形的装置，它包含用来发射波长范围从EUV到IR的光源，适合于被所述辐射照明的具有多个调制元件(象素)的空间光调制器(SLM)，在工件上产生调制器图象的投影系统，电子数据处理和发送系统，它接收待要写入的图形的数字表述、将所述图形转换成调制器信号、以及将所述信号馈送到调制器，用来彼此相关地定位所述工件和／或投影系统的精密机械系统，控制工件位置、到调制器的信号馈送、以及辐射的强度，使所述图形印制在工件上的电子控制系统，其中驱动信号和调制元件被用来产生多于二个最好是多于三个的多个调制状态。
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