[发明专利]可靠的、模块化的、制造质量的窄带KrF激子激光器有效
| 申请号： | 99803585.8 | 申请日： | 1999-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN1295729A | 公开（公告）日： | 2001-05-16 |
| 发明（设计）人： | D·S·诺尔斯;J·H·阿佐拉;H·A·贝萨奥克里;P·P·达斯;A·叶尔绍夫一世;T·尤哈兹;R·M·内斯;R·G·奥扎斯基;W·N·帕特罗;D·A·罗斯韦尔;R·L·桑德斯特伦;R·C·乌佳导斯基;T·A·沃森;I·V·福缅科夫 | 申请（专利权）人： | 西默股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/22 | 分类号： | H01S3/22;H01S3/097;H01S3/08 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种可靠的、模块化的、制造质量的窄带KrF激子激光器,能够产生1000Hz,带宽约0.6pm或更小的10mJ激光脉冲。本发明特别适合在集成电路的平板印刷中长期昼夜工作。在现有技术激光器上的改进包括单个上游预电离器管(56)和隔音板。较佳实施例包括降低氟的浓度;阳极支撑条的形状,有利于降低在鼓风机的轴承上的空气动力学反作用力;经修改的脉冲功率系统提供较快的脉冲上升时间;反射率明显地增加的输出耦合器(65);带CaF棱镜光束扩展器的线变窄模块;更正确的波长计;用新的、改进的脉冲能量算法编程的激光器计算机控制器。 | ||
| 搜索关键词： | 可靠 模块化 制造 质量 窄带 krf 激子 激光器 | ||
【主权项】：
1．一种极窄带KrF激子激光器，其特征在于它包括：A.由与氟相容材料构成的激光器腔，包括：(1)两个细长电极；(2)单个预电离器管；限定总的压力并由氪、氟和缓冲气体组成的激光器气体，所述氟的分压力小于总压力的0.08；(3)至少两块隔音板，放置在衰减由所述两个细长电极之间电子放电所产生的冲击波的位置上。B.一个线变窄模块，包括：(1)至少一个光束扩展棱镜；(2)光栅；(3)用于调谐光栅的调谐装置。
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