[发明专利]产生粒子少的光刻胶组合物的制造方法无效
| 申请号： | 99803748.6 | 申请日： | 1999-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN1292891A | 公开（公告）日： | 2001-04-25 |
| 发明（设计）人： | J·E·奥伯兰德;M·D·拉曼;M·M·库克;W·C·内尔森 | 申请（专利权）人： | 克拉里安特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/023 | 分类号： | G03F7/023 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈季壮 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种制造具有低倾向生成粒子的光刻胶组合物的方法，其中光刻胶组合物经额定值为约0.05—0.50微米的过滤器过滤，用酸性阴离子交换树脂和加热到温度约35℃—90℃进行处理，然后再次用额定值约0.05—0.50微米的过滤器过滤。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 粒子 光刻 组合 制造 方法 | ||
【主权项】：
权利要求书1．制造光刻胶组合物的方法，该方法包括：a)在光刻胶溶剂中混合成膜树脂和光敏化合物，从而得到光刻胶组合物；b)将由a)步得到的光刻胶经额定值约0．05微米-0．50微米的过滤器过滤；c)用酸性阳离子交换树脂处理由b)步得到的光刻胶组合物，将光刻胶组合物加热到温度约35℃-90℃；以及d)将由c)步得到的光刻胶组合物经额定值为约0．05-0．50微米的过滤器过滤。
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