[发明专利]制造光活性化合物以及由其制造光刻胶的方法无效
| 申请号： | 99803750.8 | 申请日： | 1999-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN1292890A | 公开（公告）日： | 2001-04-25 |
| 发明（设计）人： | J·E·奥伯兰德 | 申请（专利权）人： | 克拉里安特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/022 | 分类号： | G03F7/022;G03F7/023 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈季壮 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供用固体碱性催化剂,优选为阴离子交换树脂以制造高纯度光活性酯化合物的方法。本发明还提供制造包括这种光活性化合物、成膜树脂和溶剂组合物并使之成象的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 活性 化合物 以及 光刻 方法 | ||
【主权项】：
1．通过酯化反应制造高纯度光活性酯化合物的方法，此方法包括：a)将羟基化合物同卤化物化合物在固体碱性催化剂存在下和在溶剂组合物中反应，其中固体碱性催化剂不溶于溶剂组合物中；b)将固体碱性催化剂除去；以及c)分离酯化合物。
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