[发明专利]抗蚀层的剥离方法无效
| 申请号： | 99804505.5 | 申请日： | 1999-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN1129036C | 公开（公告）日： | 2003-11-26 |
| 发明（设计）人： | E·雅克布森 | 申请（专利权）人： | 弗莱斯金属公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H05K3/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈季壮 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了在生产印刷线路板时从衬底表面除去图案化的抗蚀层的方法。该法包括用含有碱源以及铵离子源的剥离液接触该图案化的抗蚀层的各工序。该剥离液的特征在于它不含挥发性的有机化合物(VOC)。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀层 剥离 方法 | ||
【主权项】：
1.一种从衬底上除去图案化抗蚀层的方法，该方法包括以下工序：a)提供一种在表面上具有图案化的抗蚀层的衬底；b)提供一种无挥发性有机化合物的抗蚀层剥离液，该剥离液包括一种，用作基本剥离剂的铵离子源；和c)将该衬底经受该剥离液处理足够的时间，使所有图案化的抗蚀层从该表面上除去。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于弗莱斯金属公司，未经弗莱斯金属公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/99804505.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：红外线辐射板
- 下一篇：等离子显示器的背面基板与其制作方法
