[发明专利]从一张母盘制作多张数据存储盘压模的方法

摘要

一种用在数据存储盘模压工艺中的压模的制作方法。该方法包括第一压模的制作，这包括提供一个带有信息层的压模体，并在该信息层上覆盖一个第一金属层。然后从所述第一压模制得第二压模，这包括下列步骤：为形成压模组件，以第二金属层覆盖所述第一金属层，其中，所述第一金属层和第二金属层被粘合在一起；然后从形成的压模组件除下所述第一金属层和第二金属层，形成第二压模，其中，从所述压模组件除下所述第一和第二金属层对于信息层没有破坏性。在一种应用中，所述第一和第二金属层都是镍组成的。

主权项

1、一种用在数据存储盘模压工艺中的压模的制作方法，包括下列步骤：--提供一个带有光致抗蚀剂信息层(102)的预录好的母盘(90)，--从所述母盘(90)制作第一代压模(110)，其中，从所述母盘(90)制作第一代压模(110)的步骤还包括下列步骤：向母盘(90)上的信息层(102)上溅镀一个镍层(106)，利用液滴滚压法在所述镍层(106)和一个第一支承层(114)之间形成一个光聚合物层(136)，用一个紫外光源(132)使该光聚合物层(136)硬化，将所述光聚合物层(136)与所述镍层(106)分离，形成一个光聚合物信息层(112)，将一个第二支承层(116)粘到所述第一支承层(114)上，其中，所述光聚合物层(136)与所述镍层(106)的分离对于母盘(90)没有破坏性，用一个第一金属层(152)覆盖所述光聚合物信息层(112)，从所述第一代压模(110)制作第二代压模(172)，这包括下列步骤：以一个第二金属层(174)覆盖所述第一金属层(152)，形成一个压模组件，其中，所述第一金属层(152)和第二金属层(174)被粘合在一起；然后从形成的压模组件除去所述第一金属层(152)和第二金属层(174)，形成第二压模，其中，从所述压模组件除去所述第一金属层(152)和第二金属层(174)对于所述光聚合物信息层(112)没有破坏性。