[发明专利]从废水中离子交换除去金属离子无效
申请号: | 99806588.9 | 申请日: | 1999-07-09 |
公开(公告)号: | CN1303354A | 公开(公告)日: | 2001-07-11 |
发明(设计)人: | 菲利浦·M·坎普;詹姆斯·L·费奥森;斯坦利·R·凯阿斯;小佛兰克·L·沙斯萨曼 | 申请(专利权)人: | 美国过滤公司 |
主分类号: | C02F1/42 | 分类号: | C02F1/42;C02F1/28;C02F9/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 过晓东 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了一种新型的用来清洁含溶解状态的金属离子,过氧化氢,和高含量固体粒子,如浓度大于约50毫克/升的微粒状固体粒子的废水的方法和设备。碳吸收柱除去含高含量固体粒子的废水进料中的过氧化氢、离子交换单元从溶液中除去金属离子。该方法和设备从集成电路微芯片的化学机械抛光(CMP)处理产生的高含量固体粒子的副产物抛光浆中除去金属离子如铜离子,并生成环保清洁的排放废水。 | ||
搜索关键词: | 水中 离子交换 除去 金属 离子 | ||
【主权项】:
1.一种从废水中除去金属离子的方法,包括:(a)提供用于接收含有溶解状态的金属离子的废水进料的碳床,其中所说的废水进料含有大小范围约为0.01-1.0μm浓度高于约50毫克/升的固体粒子;(b)提供用于接收从所说的碳床产生的碳床产物并从溶液中除去所说的金属离子的离子交换单元操作。
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