[发明专利]基材的处理方法无效

专利信息
申请号: 99807261.3 申请日: 1999-06-16
公开(公告)号: CN1318015A 公开(公告)日: 2001-10-17
发明(设计)人: 罗伊·V·利夫伦兹;约翰·博斯特 申请(专利权)人: TDY工业公司
主分类号: B44C1/22 分类号: B44C1/22;C23C14/02;B05D3/04
代理公司: 柳沈知识产权律师事务所 代理人: 宋莉
地址: 美国宾夕*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 公开了从基材表面除去一部分胶结剂相的方法,该基材由至少第一相被该胶结剂相结合在一起的粒子组成,其中通过用含蚀刻气和第二气的气流与表面接触来蚀刻该表面。该第二气是一种或多种在蚀刻期间不与该基材或该除去的胶结剂部分反应且不改变所说基材的氧化状态的气体。
搜索关键词: 基材 处理 方法
【主权项】:
1.一种从基材表面除去一部分胶结剂相的方法,该基材包括与胶结剂相结合在一起的至少第一相的粒子,该方法包括通过含蚀刻气和第二气的气流与所说的表面接触一段可除去所说胶结剂相的所说部分的时间,来蚀刻所说基材的所说表面,所说的第二气包括一种或多种在所说的蚀刻期间不与所说的基材或所说的部分反应且不改变所说基材的氧化状态的气体。
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